氮氣凈化方法主要有吸附法、變壓吸附法和膜分離法。在生產中,黑色的鋼瓶通常用來裝氮氣。
使用
用作集成電路、半導體和電真空器件制造中的保護氣體和載氣,化學氣相沉積中的載氣,液體擴散源的載氣,高溫擴散爐中器件的保護氣體。在外延、光刻、清洗和蒸發過程中,高純氮氣被用作置換、干燥、儲存和運輸的氣體。顯像管制造要求氮氣純度在99.99%以上。在航空航天技術中,液氫加注系統必須先用高純氮氣替換,再用高純氦氣替換。
消防應急措施
迅速將人員從泄漏污染區疏散到上風處,進行隔離,嚴格限制人員出入。建議急救人員佩戴自給式正壓呼吸器。不要直接接觸泄漏。盡可能切斷泄漏源。防止氣體在凹陷處積聚,在火源情況下著火爆炸。用排氣扇把泄漏的氣體送到空曠的地方。泄漏的容器應在重新使用前得到妥善處理、維修和檢查。用霧狀水冷卻火災現場的容器。用霧狀水噴灑,加速液氮蒸發,但不要用水槍噴灑。如果吸入高純度氮氣,感覺呼吸困難,給氧氣。如果呼吸停止,立即進行人工呼吸。就醫。
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